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AXYR 三轴一体式精密电动滑台
| 型号 | AXYR60-A2PR-ND | AXYR80-A2PR-ND | AXYR120-A2PR-ND |
| AXYR60-A2PL-ND | AXYR80-A2PL-ND | AXYR120-A2PL-ND | |
| 台面尺寸 | Ø60 | Ø80 | Ø120 |
| 移动行程X轴 | ±7.5mm | ±12mm | ±15mm |
| 移动行程Y轴 | ±7.5mm | ±12mm | ±15mm |
| 移动行程θ轴 | ±8.5° | ±10° | |
| 传动方式 | 螺杆传动 | ||
| 轨道XY轴 | 交叉滚柱导引式 | ||
| 轨道θ轴 | 滚珠循环式 | ||
| 滑台材质/表面处理 | 铝合金/黑色阳极处理 | ||
| 精度等级 | P:精密型 | ||
| 马达方向 | R: 右侧安装 / L:左侧安装 | ||
| XY轴解析度(脉冲)Full/Half | 5μm / 2.5μm | ||
| θ轴解析度(脉冲)Full/Half | 0.0056°/0.0028° | 0.0047°/0.0023° | 0.0034°/0.0017° |
| XY轴最高速度(全步级) | 10mm/sec | ||
| θ轴最高速度(全步级) | 8°/sec | ||
| XY轴单向定位精度 | 10μm | ||
| XY轴反复定位精度 | ±1μm | ||
| θ轴单向定位精度 | 0.05° | ||
| θ轴反复定位精度 | ±0.01° | ||
| 荷重 | 6kgf | 10kgf | 25kgf |
| XY轴空转 | 2μm | ||
| θ轴空转 | 0.01° | ||
| 平行度 | 20μm | 30μm | |
| 运动同心度 | 20μm | ||
| 运动平行度 | 10μm | 15μm | |
| 马达类型 | 2MS-N28D32A | 2MS-N28D45A | |
| 马达厂牌 | GMT | ||
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